鍍膜材料-濺射靶材,高純合金金屬靶材,磁控靶材生產(chǎn)廠家,陶瓷靶材公司

產(chǎn)品應(yīng)用

金屬與合金-ELETM元素金屬
化學(xué)式	規(guī)格/mm	熔點(diǎn)/℃	密度（g/cm3）	蒸發(fā)源	用途
Au	Φ1*3等	1064	19.3	B	金屬反射膜,裝飾膜
Ag	Φ3*3等	962	10.49	B	金屬反射膜
Ag-Cu	Φ12*5等	950		B	金屬反射膜
Al	Φ3*3等	660	2.7	B	金屬反射膜
Cr	1-3等	1907	7.23	B	功能膜，金屬反射膜
Cu	1-5/Φ3*3等	1084	8.9	B
Ni	1-3/Φ2*4等	1455	8.902	B
Ge	1-5等	938	5.5	B	減反射膜，熱反射膜，二向色濾光片，激光鍍膜
Hf	Φ2*5等	2227	13.31	B
Nb	Φ3*3等	2477	10.87	B
Ta	Φ6*6等	3017	10.9	B
Sn	1-5等	232	7.28	B
Ti	Φ33/ Φ66等	1668	4.5	B

氧化物-ELETM元素金屬
化學(xué)式	規(guī)格/mm	熔點(diǎn)/℃	蒸發(fā)源	折射率	透明波段	用途
SiO2	1-2/1-3/φ22/ φ33等	1700	E	1.46	200-9000nm
Nb2O5	1-2/1-3等	1530	E	2.3	350-9000nm	增透膜，干涉濾光片等
Ta2O5	1-3/Φ90*12t等	1800	RE,RS	2.1	350-9000nm	增透膜，干涉濾光片等
ZrO2	φ1810t/φ187t等	2715	E	2.05	250-9000nm	增透膜,多層膜,裝飾膜等
TiO2	1-2/1-3等	1850±20	RE,RS	2.3	360-9000nm	增透膜,激光多層膜, 分光器,熱反射鏡等
HfO2	1-3/1-5等	2812	E,RS	2.15	200-9000nm	復(fù)合膜等
Ti3O5	1-3等	1850	RE,RS	2.3	400-12000nm	增透膜，濾光片等
Al2O3	1-3等	2020	E,B（W)	1.54	170-9000nm	增透膜，多層膜，干涉膜等
WO3	1-3等	1473	E,B（W)	1.7	360-10000nm	保護(hù)膜，功能膜等
CeO2	1-5等	2727	E,B（W)	2.2	400-12000nm	增透膜等
Cr2O3	1-3等	2275	E	2.1	600-8000nm	粘接促進(jìn)材料，塑料基片鍍膜彩色/防曬鍍膜。
MgO	1-3/3-5等	2852	E,B（W,Ta)	1.7	200-8000nm	激光鍍膜，粘接促進(jìn)材料等
SiO	1-2/2-4等	1700	B（W,Ta,Mo)	1.8-1.9	400-9000nm	分束鏡，彩色/防曬鍍膜等
TiO	1-3/3-5等	1750	RE,RS	1.9-2.3	400-12000nm
Y2O3	1-3/3-5等	2410	E	1.87	300-12000nm
Ti2O3	1-3等	2130	RE,RS	1.9-2.3	400-12000nm
SnO2	1-3等	1127	E,B（W)	2.0-2.1
ZnO	1-3等	1975	E,B（W,Mo)	2.1	350-20000nm
Sb2O3	1-3等	656	B（Ta)	2.3	300-1000nm
氟化物-ELETM元素金屬
化學(xué)式	規(guī)格/mm	熔點(diǎn)/℃	蒸發(fā)源	折射率	透明波段	用途
MgF2	1-2/1-3等	1266	B（W,Ta,Mo)	1.38	110-10000nm	增透膜,多層膜,濾光片，分光器
CeF3	1-3等	1460	E,B(W)	1.63	300-500nm	保護(hù)膜
CaF2	1-3等	1360	B（W,Ta,Mo)	1.23-1.46	150-12000nm	增透膜，偏光鏡
YbF3	1-3等	1157	E	1.52	220-12000nm	增透膜，熱反射膜/介質(zhì)膜，偏光鏡，分束鏡，激光鍍膜
YF3	1-3/3-5等	1387		1.59	220-14000nm	增透膜，偏光鏡，分束鏡，激光鍍膜
Na3AlF6	1-8等	1000	B（Ta,Mo)	1.32-1.35	200-14000nm	窄帶濾光片，紫外膜
AlF3	1-4等	900	B	1.38	200-20000nm	增透膜
LaF3	1-3等	1490	E,B(W,Mo)	1.55	200-12000nm	增透膜，介質(zhì)鏡，二向色濾光片偏光鏡
NdF3	1-4等	1410	B（Ta,Mo)	1.61	220-6000nm	增透膜，偏光鏡，分束鏡，激光鍍膜
硫化物及其他-ELETM元素金屬
化學(xué)式	規(guī)格/mm	熔點(diǎn)/℃	蒸發(fā)源	折射率	透明波段	用途
ZnS	1-3/3-5等	1900	B（Ta,Mo)	2.22	400-14000nm	減反射膜，熱反射膜，二向?yàn)V光片，偏光片等
Si	1-3等	1410	B	3.4	1000-9000nm	減反射膜，熱反射膜，二向?yàn)V光片，偏光片等
混合物材料-ELETM元素金屬
化學(xué)式	規(guī)格/mm	熔點(diǎn)/℃	蒸發(fā)源	折射率	透明波段	用途
HG-01/MU2 (LaTiO3)	1-3等	1800	E	2.13	400-7000nm	增透膜，濾光片
MG-01 (LaAlO3)	1-3 等	2200	E	2.1	400-7000nm	增透膜，濾光片
GL7 （Ta2O5+TiO2)	1-3 等	1800	E	2.2	400-7000nm	增透膜，濾光片
MU5 (ZrO2+TiO2)	φ18*10t等	2200	E	2.1	360-7000nm	增透膜
GL2 (ZrO2+Ta2O5)	φ18*8t等	1975	E	2.1	350-20000nm
MU1 (SiO2+Al2O3)	1-3等	2000	E	1.48	300-7000nm	激光鍍膜，粘接促進(jìn)材料，塑料基片鍍膜
鋯鋁合金（ZrO2+Al2O3)	φ2510tφ257t等		E	1.7
ITO (In2O3-SnO2）	1-3/φ25*10t等	1730	E	1.9-2.0	400-1100nm	防靜電/導(dǎo)電膜，塑料基片鍍膜
Al2O3+MgO		1473	E	1.65-1.7
TiO2+Al2O3		1127	E	1.7		增透膜，塑料基片鍍膜

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